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4路质子混气系统MXGQ-4Z

MXGQ-4Z可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在MXGQ-4Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合微行炉业的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。

质量流量控制器

工作电压：220V

大输出功率：18W

控制范围：

控制器1：0-100 SCCM

控制器2：1-199 SCCM

控制器1：1-199 SCCM

控制器2：1-499 SCCM

工作温度：5-45 ºC

大压力：3* 10^6 Pa

准确度：±1%FS

机械压力表测量范围：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)

针型阀：304不锈钢

混气罐：Φ80*120MM

截止阀：Φ1/4 304不锈钢

外形尺寸：600*600*650MM

上海双旭

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