五路浮子供气系统 MXGQ-5F 
主要特点：
本供气系统适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便两种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。 每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。 显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
工作原理： 由气体钢瓶输入两种气体，形成A，B两种组份，经过减压阀减压，输出所需流量的气体，再通过调节每一组分的体积流量，输出预定比例关系的混合气体，达到加热炉所需求得气氛。两个连接头可连接二只气体钢瓶，如：H2/AR，H2/N2，O2/N2等。 严禁氢气和氧气同时供气，保证安全。 将供气系统进口的两个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上，选择连接好两种气体，按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮，再旋转减压阀旋钮增大气体压力，调节两种气体流量，输出所需要的压力和流量。 本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。 这种气路控制系统适用于控制两种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合微行炉业的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。 上海双旭 |
