型号：FM-CVD 系列
本装置用2.45GHz微波激发Φ50mm石英管腔内的稀薄气体，产生稳态等离子球，除了开设等离子体基本知识技能实验课之外，还可完成等离子体化学沉积、等离子体气相刻蚀等实验，用以制备金刚石膜或其它多种功能薄膜，或制备小临界尺寸超大规模集成电路。本装置是由微波、真空及供气、水冷等3个独立系统协调匹配而成的，适用于大学物理、化学、材料等学科的学生实验和教师科研。
尺度:1.4×1.5×0.6m3;重量：100kg，TCB-2080BPC27-1,，E3K80-DS50P1 Q23DI-L15SR561-RS3 AR400-06 AC20-02WZP2-3312AYB1052BAR340-RN1,PR18-10DNSR561-RS4 RX7-200 WRNR-13,TR220SR351-RM DWZX38A/10, FM-RT1K-250CD,K250CD AC30A-02,YSG-2 871bWZPK-165UNLB-30，K35D2H-8，DMM740 YB1053C AC5,,E3S-R2P3,DT2239A KLA-6SBWR-4270/440KD FMOR JM-05,XJP-02A,TES-1352AWREK-132687-1,PL-05P2WZP2-420B Q23JD-20,AR924SBWZ-2484/44SIWMZK-02,UT303,HY-3020ABHS5661A，K22JD-15WSBWR-2180/8413KD（）FM-QR2,TPI753WZPN2-131http://www.63504668.com http://www.yqybzhan.com http://www.jsbyb.com http://www.shwjzdh.com http://www.oneyb.com http://www.ttyssy.com http://www.591718.com http://www.shuangxu.net http://www.shanghaiyiqi.com http://www.shuangxudianzi.com http://www.yqybjyw.com http://www.63504668.cn http://www.shanghaiybw.com http://www.591718.cn http://www.591718.net |
