半导体特气检测探头PS-6AH/PS-6NH/PS6AH/PS6NH
产品概述
半导体特气检测探头PS-6AH/PS-6NH（又称PS6AH/PS6NH）是专为半导体工业设计的气体检测设备，采用泵吸式采样方式，可灵活安装于各类工业环境。该系列产品通过模块化设计实现快速传感器更换，支持检测多种特种气体，包括NF3、CCl4等半导体工艺中常见的气体类型。其核心特点是采用特氟龙材质采样管道（外径6mm/内径4mm），配管距离可达20米（吸附性气体为5米），并配备0-9999LED浓度显示屏，便于现场实时监控。257
技术原理与功能特点
PS-6AH型号采用定电位电解式、热线型半导体式及隔膜Galvanic电池式复合检测原理，而PS-6NH专为NF3和CCl4设计，采用热分解与定电位电解式技术。产品内置双段报警功能（开路集电极OFF输出），支持故障自诊断和流量异常提示。标准4-20mA输出信号可无缝接入各类控制系统，无需现场标定即可投入使用。设备工作温度范围为0-40℃，采用DC24V±10%供电，功耗分别为10W（PS-6AH）和15W（PS-6NH），紧凑型设计（73×198×145mm）适合狭小空间安装。369
应用场景与操作优势
该系列探头广泛应用于半导体制造、特种气体存储等场景，其卡式传感器设计使维护人员无需工具即可完成传感器更换。泵吸式采样方式配合特氟龙防腐管道，能有效应对腐蚀性气体环境。设备提供本地浓度显示与远程信号传输双重监测方式，用户可通过LED屏直接读取数据或通过电缆（KVV-P3/4芯）连接至中控系统。报警阈值可自定义设置，包括零抑制和线性表格调整功能，适应不同工艺需求。1410
英文介绍（Semiconductor Special Gas Detection Probe）
The PS-6AH/PS-6NH series are pump-sampling gas detection probes specifically engineered for semiconductor manufacturing environments. Featuring a modular sensor cartridge system, these probes allow quick sensor replacement for detecting various process gases including NF3 and CCl4. The PTFE sampling tube (6mm OD/4mm ID) supports piping distances up to 20m (5m for adsorbent gases), with real-time concentration displayed on a 4-digit LED screen. 58
Equipped with multiple detection principles - galvanic cell, semiconductor and electrochemical technologies (PS-6AH) or thermal decomposition method (PS-6NH) - the probes deliver 4-20mA analog output compatible with most control systems. Dual-stage alarms with open-collector outputs and flow failure alerts enhance operational safety. The compact enclosure (73×198×145mm) operates within 0-40℃ using 24VDC power, requiring only 10-15W consumption. Field calibration is eliminated through pre-calibrated sensors, while local concentration verification and remote monitoring options provide flexible deployment. 7910
半导体特气检测探头PS-6AH/PS-6NH
的详细介绍半导体特气检测探头PS-6AH/PS-6NH/PS6AH/PS6NH
半导体特气检测探头PS-6AH/PS-6NH
半导体特气检测探头PS-6AH/PS-6NH
半导体特气检测探头PS-6AH/PS-6NH特点：
¬ 由于是4～20mA的标准输出,因此可接入各种测量装置和系统。
¬ 由于现场有浓度显示功能，因此可在设置现场确认浓度。
¬ 可以设定报警水平，故障报警，零抑制或线性表格等。
¬ 检测部有各种接点输出信号
规格：
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